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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】大家都是怎么清洗基片的？
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是怎么清洗基片的？

我对基片的干净度要求很高，可是感觉还是洗的不是很干净。一般基片上都会存在什么样的杂质啊？大家互相交流，希望可以学习哦 呵呵

我一般的清洗程序：希望大家也把各自的清洗方法都写下 交流啊
硅片的清洗：丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-最后去离子水冲洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的时候拿出来吹风机吹干
载玻片的清洗：洗衣粉洗洁精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸：过氧化氢中在80度中放置2个小时-使用丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-去离子水冲洗-放置于乙醇中使用时拿出吹干

[ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ]
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没有做不到只有想不到
1楼 2010-03-08 11:22:34
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refnew

专家顾问 (知名作家)
已经够干净的了
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2楼2010-03-08 12:08:09
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yfju

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
就是这样洗的！很正确。超声时间可以延长点。到15~20min
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3楼2010-03-08 13:47:04
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xiaoshao

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这样洗 还能不干净啊
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4楼2010-03-08 13:49:47
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
硅片的清洗一般需要用浓硫酸加双氧水（7：3）125度加热20分钟。
当然能够用1#，2#液顺序清洗一下更好了。
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微纳加工
5楼2010-03-08 16:12:17
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
谢谢大家交流 呵呵
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没有做不到只有想不到
6楼2010-03-08 16:19:22
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by yfju at 2010-03-08 13:47:04:
就是这样洗的！很正确。超声时间可以延长点。到15~20min

因为制作的器件效果还差那么一点 所以 考虑到是不是 基片的干净问题了 呵呵
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没有做不到只有想不到
7楼2010-03-08 16:20:59
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sakuraai

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
。。。。收藏了，谢谢楼主。。。
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8楼2010-03-08 18:44:57
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kevinsun17

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们少了放置于洗洁精中清洗的步骤。另想问一下你们在浓硫酸里面泡多久啊？
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为失败找借口前，请先为成功找方法
9楼2010-03-08 20:33:43
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frankon

禁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
10楼2010-03-09 01:19:07
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