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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是怎么清洗基片的?

我对基片的干净度要求很高,可是感觉还是洗的不是很干净。一般基片上都会存在什么样的杂质啊?大家互相交流,希望可以学习哦 呵呵

我一般的清洗程序:希望大家也把各自的清洗方法都写下 交流啊
硅片的清洗:丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-最后去离子水冲洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的时候拿出来吹风机吹干
载玻片的清洗:洗衣粉洗洁精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸:过氧化氢中在80度中放置2个小时-使用丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-去离子水冲洗-放置于乙醇中使用时拿出吹干

[ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ]
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kevinsun17

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们少了放置于洗洁精中清洗的步骤。另想问一下你们在浓硫酸里面泡多久啊?
为失败找借口前,请先为成功找方法
9楼2010-03-08 20:33:43
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查看全部 12 个回答

yfju

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
就是这样洗的!很正确。超声时间可以延长点。到15~20min
3楼2010-03-08 13:47:04
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xiaoshao


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这样洗 还能不干净啊
4楼2010-03-08 13:49:47
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
硅片的清洗一般需要用浓硫酸加双氧水(7:3)125度加热20分钟。
当然能够用1#,2#液顺序清洗一下更好了。
微纳加工
5楼2010-03-08 16:12:17
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