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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】大家都是怎么清洗基片的？
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by kevinsun17 at 2010-03-08 20:33:43:
我们少了放置于洗洁精中清洗的步骤。另想问一下你们在浓硫酸里面泡多久啊？

3:1硫酸：过氧化氢中在80度中放置2个小时
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没有做不到只有想不到
11楼2010-03-09 10:09:11
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by frankon at 2010-03-09 01:19:07:
a.除油：硅片先后在丙酮、甲醇中超声20min
b.碱性过氧化氢溶液中进行氧化10min，溶液成分比为NH4OHH2O2H2O（114），以除去表面氧化物
c.将硅片放入PH值为5.0的HF溶液中刻蚀10m ...

可不可以用这个方法清洗普通载玻片还有ITO玻璃？另外，最后清洗完的基片可不可以放置于乙醇中？这样拿出来干的快
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没有做不到只有想不到
12楼2010-03-09 10:11:38
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