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[交流]
【讨论】大家都是怎么清洗基片的？
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我对基片的干净度要求很高，可是感觉还是洗的不是很干净。一般基片上都会存在什么样的杂质啊？大家互相交流，希望可以学习哦 呵呵 我一般的清洗程序：希望大家也把各自的清洗方法都写下 交流啊 硅片的清洗：丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-最后去离子水冲洗-然后自然晾干或者是放置于乙醇中使用的时候拿出来吹风机吹干 载玻片的清洗：洗衣粉洗洁精泡一天-手搓洗-然后放置于3:1硫酸：过氧化氢中在80度中放置2个小时-使用丙酮超声10min-乙醇超声10min-去离子水超声10min-去离子水冲洗-放置于乙醇中使用时拿出吹干 [ Last edited by 糊涂的snow on 2010-3-8 at 11:31 ] |
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10楼2010-03-09 01:19:07
yfju
金虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2010-03-08 13:47:04
4楼2010-03-08 13:49:47
5楼2010-03-08 16:12:17
