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【资源】电子束光刻技术
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leegane
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[交流]
【资源】电子束光刻技术
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最近看文献经常看到电子束光刻技术的应用,对这方面比较感兴趣,然后搜了一些相关的PPT,不知道国内有这方面的大牛没。
http://d.namipan.com/d/414f329e2326c90ea2d4f7844e8a44ad565416925eff2300
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2009-11-02 10:20:44
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中科院微电子加工所
陈应钦研究员
上次在湘潭开会,有听他的专题报告,还不错
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6楼
2009-11-02 20:07:45
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caowugui
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0.5
你这些图片很漂亮啊,国内是不是受限制于仪器呢?
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2楼
2009-11-02 14:06:25
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leegane
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估计是这样,差了一下,基本都是国外的人在做
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3楼
2009-11-02 16:38:02
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xiamg
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小木虫(金币
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国内没仪器,在国外作过的人回国后作不成了。
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4楼
2009-11-02 17:26:05
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