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leegane

金虫 (正式写手)

[交流] 【资源】电子束光刻技术已有15人参与

最近看文献经常看到电子束光刻技术的应用,对这方面比较感兴趣,然后搜了一些相关的PPT,不知道国内有这方面的大牛没。





http://d.namipan.com/d/414f329e2326c90ea2d4f7844e8a44ad565416925eff2300
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这几个图片没有什么太特别的啊
国内仪器不少,好几个学校研究所都有ebl,jeol,raith的机器都有不少
微纳加工
9楼2009-11-02 21:38:25
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
呵呵,那是没有关系,有关系还是很容易找到用的。
不过ebl还是不容易,关键是太慢了,你用了别人就没得用,当然是优先满足自己人用了,并且也比较贵,很少人出钱来做。
到不见得是怕你做出成果来。
微纳加工
11楼2009-11-04 14:39:30
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zeusshang

金虫 (小有名气)

ft,上次都没看出这个问题,
是陈宝钦,不是应
引用回帖:
Originally posted by 救救我 at 2009-11-2 20:07:
中科院微电子加工所
陈应钦研究员
上次在湘潭开会,有听他的专题报告,还不错

微纳加工
12楼2009-11-04 14:41:05
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