| 查看: 1705 | 回复: 20 | ||
| 当前主题已经存档。 | ||
chenfire木虫 (著名写手)
|
[交流]
【请教】如何打纳米级的孔?
|
|
|
我在铝片上溅射了一层SiO2, 想在这层SiO2上打一排孔,将SiO2层打穿,露出铝层, 孔径大概在100纳米以内, 孔间距约为几个微米。 有没有什么加工方法可以用呢?化学法物理法都行。 |

2楼2009-05-21 15:25:26

3楼2009-05-21 15:36:56
4楼2009-05-21 16:15:54
5楼2009-05-21 17:10:52
6楼2009-05-21 17:12:16
ljh211
禁虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 3053.5
- 散金: 247
- 帖子: 909
- 在线: 1081.3小时
- 虫号: 625770
- 注册: 2008-10-14
- 专业: 无机合成和制备化学

7楼2009-05-21 20:27:01
BUSKIN
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2313.9
- 散金: 76
- 帖子: 209
- 在线: 124.6小时
- 虫号: 315153
- 注册: 2007-02-26
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II :电子结构
8楼2009-05-21 21:44:24
9楼2009-05-21 21:46:25
seebay6271
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 456.8
- 红花: 4
- 帖子: 219
- 在线: 429.7小时
- 虫号: 772245
- 注册: 2009-05-16
- 专业: 半导体材料
10楼2009-05-22 03:44:42













回复此楼
