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chenfire

木虫 (著名写手)

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专业: 无机非金属类光电信息与功

[交流] 【请教】如何打纳米级的孔？

我在铝片上溅射了一层SiO2，
想在这层SiO2上打一排孔，将SiO2层打穿，露出铝层，
孔径大概在100纳米以内，
孔间距约为几个微米。

有没有什么加工方法可以用呢？化学法物理法都行。

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非淡泊无以明志，非宁静无以致远

1楼2009-05-21 14:45:26

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淘气包

铜虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 有机化学

★
kqy920(金币+1):xie xie!

激光刻蚀吧没别的好办法

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4楼2009-05-21 16:15:54

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上大纳米

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★ ★
kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29

有点难度，这个感觉化学的方法很难实现，不知楼主对激光腐刻法有没有了解，不知道是不是可行

赞一下(3人)

2楼2009-05-21 15:25:26

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fox-fox

木虫 (知名作家)

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专业: 化学

激光刻蚀，成本高。

早起的鸟儿有虫吃；早起的虫儿被鸟吃。

3楼2009-05-21 15:36:56

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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)

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★
chenfire(金币+1,VIP+0):激光打孔的方法确实不太可行。 5-22 09:18

基本都在胡说！！
激光刻蚀孔的大小要由光斑大小决定。光斑大小要由激光能力决定。能够刻穿SiO2的激光功率很难保持在一个较小的值。光斑想达到100nm就更难了。

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5楼2009-05-21 17:10:52

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