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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】如何打纳米级的孔？
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chenfire

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】如何打纳米级的孔？

我在铝片上溅射了一层SiO2，
想在这层SiO2上打一排孔，将SiO2层打穿，露出铝层，
孔径大概在100纳米以内，
孔间距约为几个微米。

有没有什么加工方法可以用呢？化学法物理法都行。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
1楼 2009-05-21 14:45:26
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上大纳米

★ ★
kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29
有点难度，这个感觉化学的方法很难实现，不知楼主对激光腐刻法有没有了解，不知道是不是可行
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2楼2009-05-21 15:25:26
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fox-fox

木虫 (知名作家)
激光刻蚀，成本高。
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早起的鸟儿有虫吃；早起的虫儿被鸟吃。
3楼2009-05-21 15:36:56
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淘气包

铜虫 (小有名气)
★
kqy920(金币+1):xie xie!
激光刻蚀吧 没别的好办法
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4楼2009-05-21 16:15:54
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★
chenfire(金币+1,VIP+0):激光打孔的方法确实不太可行。 5-22 09:18
基本都在胡说！！
激光刻蚀孔的大小要由光斑大小决定。光斑大小要由激光能力决定。能够刻穿SiO2的激光功率很难保持在一个较小的值。光斑想达到100nm就更难了。
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5楼2009-05-21 17:10:52
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
感觉楼主的设计有点一想天开了。如果最终实现了一定要告诉大家一声。
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6楼2009-05-21 17:12:16
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ljh211

禁虫 (正式写手)
★
chenfire(金币+1,VIP+0):能否详细点呢？呵呵 5-22 09:18
化学方法你也许可以试试多步参杂法，
当然重要的是你精确合理的设计
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取舍一念间，进退一瞬间
7楼2009-05-21 20:27:01
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BUSKIN

木虫 (小有名气)
★ ★
chenfire(金币+1,VIP+0):嗯，AFM考虑过，针尖很容易断掉吧 5-22 09:20
chenfire(金币+1,VIP+0):不过还是可以试试的，谢谢 5-22 09:23
不是说不可能，但，很难。
如果有条件，可以采用AFM的纳米刻蚀，说白了就是金刚石的针尖裸捅，不知道行不行。（Vecco的Innova好像可以吧）
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8楼2009-05-21 21:44:24
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catcyq

新虫 (初入文坛)
★ ★
chenfire(金币+2,VIP+0):光刻腐蚀的精度可达100nm吗？不知道有没有加工条件成熟的单位。 5-22 09:21
感觉反应离子刻蚀可以。先做光刻掩膜，然后刻蚀，刻蚀到铝膜时停止。标准的微电子工艺
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9楼2009-05-21 21:46:25
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seebay6271

新虫 (小有名气)
★
chenfire(金币+1,VIP+0):嗯，就跟9楼说的差不多吧，还是腐蚀精度的问题 5-22 09:22
找东西做掩膜（比如高分子），然后用HF或BHF溶液腐蚀SiO2
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10楼2009-05-22 03:44:42
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