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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】如何打纳米级的孔？
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chenfire

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】如何打纳米级的孔？

我在铝片上溅射了一层SiO2，
想在这层SiO2上打一排孔，将SiO2层打穿，露出铝层，
孔径大概在100纳米以内，
孔间距约为几个微米。

有没有什么加工方法可以用呢？化学法物理法都行。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
1楼2009-05-21 14:45:26
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★
chenfire(金币+1,VIP+0):激光打孔的方法确实不太可行。 5-22 09:18
基本都在胡说！！
激光刻蚀孔的大小要由光斑大小决定。光斑大小要由激光能力决定。能够刻穿SiO2的激光功率很难保持在一个较小的值。光斑想达到100nm就更难了。
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5楼2009-05-21 17:10:52
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上大纳米

★ ★
kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29
有点难度，这个感觉化学的方法很难实现，不知楼主对激光腐刻法有没有了解，不知道是不是可行
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2楼2009-05-21 15:25:26
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fox-fox

木虫 (知名作家)
激光刻蚀，成本高。
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早起的鸟儿有虫吃；早起的虫儿被鸟吃。
3楼2009-05-21 15:36:56
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淘气包

铜虫 (小有名气)
★
kqy920(金币+1):xie xie!
激光刻蚀吧 没别的好办法
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4楼2009-05-21 16:15:54
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