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chenfire木虫 (著名写手)
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[交流]
【请教】如何打纳米级的孔?
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我在铝片上溅射了一层SiO2, 想在这层SiO2上打一排孔,将SiO2层打穿,露出铝层, 孔径大概在100纳米以内, 孔间距约为几个微米。 有没有什么加工方法可以用呢?化学法物理法都行。 |
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ljh211
禁虫 (正式写手)
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