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dgf2008

主管区长 (知名作家)

不要鄙视看帖不回的人！！

应助: 63 (初中生)
贵宾: 33.963
金币: 63847.4
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虫号: 212760
注册: 2006-03-08
性别: GG
专业: 电化学
管辖: 材料区

加适量的强碱溶液试试

NaOH或KOH，最好估算一下所需消耗的量，分几次让强碱与SiO2反应

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百人计划，千人计划，万人计划，百千万人才计划

11楼2009-05-22 19:55:51

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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2006-04-16
性别: GG
专业: 生化分析及生物传感
管辖: 物理

EBL+RIE

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从此不问江湖事

12楼2009-05-22 23:35:55

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tomcobra

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 674627
注册: 2008-12-14
专业: 微/纳机械系统

★
chenfire(金币+1,VIP+0):谢谢 5-24 17:14

FIB或是EB了，激光不可能。衍射极限啊！

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13楼2009-05-22 23:56:55

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swws16

木虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
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在线: 263.3小时
虫号: 340542
注册: 2007-04-07
专业: 水泥与耐火材料

E-beam lithography

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14楼2009-05-23 00:15:52

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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

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性别: GG
专业: 生化分析及生物传感
管辖: 物理

★
chenfire(金币+1,VIP+0):谢谢 5-24 17:13

nanoimprint
dip pen nanolithography
能实现小到32纳，

批量小的话，EB直写最合适，批量的大，EBL做个mask，然后vuv加浸入能实现到32纳米，但国内的做到多少，不知道，中芯国际貌似是最好的

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从此不问江湖事

15楼2009-05-23 02:54:57

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dingyanhuai

木虫 (小有名气)

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虫号: 457170
注册: 2007-11-12
专业: 固体力学

直接纳米压痕也可以

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16楼2009-05-23 07:57:48

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catcyq

新虫 (初入文坛)

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虫号: 473834
注册: 2007-12-05
专业: 新型信息器件

100nm可以用电子束曝光来做掩膜，不用光刻。然后再反应离子刻蚀

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17楼2009-05-24 16:45:00

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phyzhao

银虫 (小有名气)

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帖子: 99
在线: 122.7小时
虫号: 535505
注册: 2008-03-29
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

FIB

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

可以用FIB（聚焦离子束）直接刻蚀

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18楼2009-06-12 09:07:42

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wildcat

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 20.5
帖子: 14
在线:
虫号: 402292
注册: 2007-06-14

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

如果是单件或小批量，FIB可能是唯一解决手段。

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19楼2009-06-15 15:21:17

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renerve

木虫 (著名写手)

应助: 15 (小学生)
金币: 4375.8
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红花: 8
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帖子: 1316
在线: 767.4小时
虫号: 573947
注册: 2008-06-15
专业: 考古学其他学科

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

能不能利用相分离办法呢我是做多孔的

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20楼2009-06-17 14:09:18

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