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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】如何打纳米级的孔？
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chenfire

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】如何打纳米级的孔？

我在铝片上溅射了一层SiO2，
想在这层SiO2上打一排孔，将SiO2层打穿，露出铝层，
孔径大概在100纳米以内，
孔间距约为几个微米。

有没有什么加工方法可以用呢？化学法物理法都行。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
1楼 2009-05-21 14:45:26
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
★
chenfire(金币+1,VIP+0):谢谢 5-24 17:13
nanoimprint
dip pen nanolithography
能实现小到32纳，

批量小的话，EB直写最合适，批量的大，EBL做个mask，然后vuv加浸入能实现到32纳米，但国内的做到多少，不知道，中芯国际貌似是最好的
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从此不问江湖事
15楼2009-05-23 02:54:57
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上大纳米

★ ★
kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29
有点难度，这个感觉化学的方法很难实现，不知楼主对激光腐刻法有没有了解，不知道是不是可行
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2楼2009-05-21 15:25:26
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fox-fox

木虫 (知名作家)
激光刻蚀，成本高。
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早起的鸟儿有虫吃；早起的虫儿被鸟吃。
3楼2009-05-21 15:36:56
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淘气包

铜虫 (小有名气)
★
kqy920(金币+1):xie xie!
激光刻蚀吧 没别的好办法
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4楼2009-05-21 16:15:54
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