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chenfire木虫 (著名写手)
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[交流]
【请教】如何打纳米级的孔？
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我在铝片上溅射了一层SiO2， 想在这层SiO2上打一排孔，将SiO2层打穿，露出铝层， 孔径大概在100纳米以内， 孔间距约为几个微米。 有没有什么加工方法可以用呢？化学法物理法都行。 |
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kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29
kqy920(金币+1):xie xie!
chenfire(金币+1,VIP+0):光刻的方法挖100纳米的孔很难。激光打孔的束斑也少有这么小。 5-21 19:29