24小时热门版块排行榜    

查看: 1966  |  回复: 16
当前主题已经存档。

lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人,怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊,薄膜式长在基片上的。
谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

电化学-电池材料 镀膜与膜层或涂层检测

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

guody

铁杆木虫 (正式写手)


yangruirui(金币+1,VIP+0): 5-26 15:18
这种难度比较大,
建议直接用sem看薄膜的断面就可以确定厚度了
求木之长者,必固其根本;欲流之远者,必浚其泉源;思国之安者,必积其德义。
8楼2009-05-12 10:21:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

miloyy

木虫 (正式写手)

★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流! 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话,xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰,用软件可以拟合算出厚度,这样比较方便。

如果没有fringe峰,也可以做X-ray Reflectometry(XRR),具体怎么做去网上搜一下一大堆
2楼2009-05-10 19:52:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

smallstar007

金虫 (著名写手)

呵呵,我也想知道哦,同问
将科研进行到底!
3楼2009-05-10 20:14:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
4楼2009-05-11 10:26:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinjj016

铜虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:34
xrd测试的厚度和椭圆光度法相比要差很多,说明不了问题,我建议楼主试一试椭圆光度法。
5楼2009-05-11 19:36:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiahl

金虫 (小有名气)

★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:34
椭偏仪测厚度也不是很准,是间接测量,前提是数据库中有该薄膜的详细参数,才能比较准确的模拟其厚度,对于新型材料,一般数据库很少,模拟误差很大
建议用腐蚀的办法,然后测量台阶,厚度数百纳米完全可以
业精于勤 荒于嬉 行成于思 毁于随
6楼2009-05-12 07:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师


yangruirui(金币+1,VIP+0): 5-26 15:18
测厚度,可以用xrd衍射峰的宽化计算出来
自己想了个小办法,可以用腐蚀的方法,测量试样的电位变化,当电位发生突变时说明基体已经外露,然后用腐蚀速率计算出薄膜的厚度
活着,就是向圣贤和傻瓜学习
7楼2009-05-12 10:10:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lyxlxl

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
如果试样的面积提前算出来,处理前和处理后的重量变化除以表面积就是膜厚了,对于要求误差小的可以参考前面虫友的帖子
9楼2009-05-26 15:15:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

diamondli99

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yangruirui(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-27 10:18
你为什么不试试XRF,相对而言,采用XRF测量薄膜的厚度比XRD更为精确。
目前,XRD测量薄膜厚度一般在几十个纳米到几百纳米,如果薄膜的厚度再厚,就应该考虑使用台阶仪了,但是XRF可以测到几个纳米,精度还是可以的。我目前正考虑用这种方法进行测量。另外,用XRF的一个好处是不必再渴求样品表面和基体的平整度。
10楼2009-05-27 08:59:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lvyifei9286 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见