24小时热门版块排行榜    

查看: 2000  |  回复: 16
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人,怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊,薄膜式长在基片上的。
谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiahl

金虫 (小有名气)

★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:34
椭偏仪测厚度也不是很准,是间接测量,前提是数据库中有该薄膜的详细参数,才能比较准确的模拟其厚度,对于新型材料,一般数据库很少,模拟误差很大
建议用腐蚀的办法,然后测量台阶,厚度数百纳米完全可以
业精于勤 荒于嬉 行成于思 毁于随
6楼2009-05-12 07:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

miloyy

木虫 (正式写手)

★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流! 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话,xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰,用软件可以拟合算出厚度,这样比较方便。

如果没有fringe峰,也可以做X-ray Reflectometry(XRR),具体怎么做去网上搜一下一大堆
2楼2009-05-10 19:52:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

smallstar007

金虫 (著名写手)

呵呵,我也想知道哦,同问
将科研进行到底!
3楼2009-05-10 20:14:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
4楼2009-05-11 10:26:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见