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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜的厚度测定
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人，怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊，薄膜式长在基片上的。
谢谢
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电化学-电池材料 镀膜与膜层或涂层检测

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1楼 2009-05-10 17:40:28
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jiahl

金虫 (小有名气)
★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:34
椭偏仪测厚度也不是很准，是间接测量，前提是数据库中有该薄膜的详细参数，才能比较准确的模拟其厚度，对于新型材料，一般数据库很少，模拟误差很大
建议用腐蚀的办法，然后测量台阶，厚度数百纳米完全可以
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业精于勤 荒于嬉 行成于思 毁于随
6楼2009-05-12 07:50:06
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miloyy

木虫 (正式写手)
★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话，xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰，用软件可以拟合算出厚度，这样比较方便。

如果没有fringe峰，也可以做X-ray Reflectometry(XRR)，具体怎么做去网上搜一下一大堆
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2楼2009-05-10 19:52:26
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smallstar007

金虫 (著名写手)
呵呵，我也想知道哦，同问
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将科研进行到底！
3楼2009-05-10 20:14:01
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yhw9102

木虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
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4楼2009-05-11 10:26:55
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