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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜的厚度测定
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人，怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊，薄膜式长在基片上的。
谢谢
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电化学-电池材料 镀膜与膜层或涂层检测

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1楼 2009-05-10 17:40:28
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

guody

铁杆木虫 (正式写手)
★
yangruirui(金币+1,VIP+0): 5-26 15:18
这种难度比较大，
建议直接用sem看薄膜的断面就可以确定厚度了
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
8楼2009-05-12 10:21:32
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普通回帖

miloyy

木虫 (正式写手)
★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话，xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰，用软件可以拟合算出厚度，这样比较方便。

如果没有fringe峰，也可以做X-ray Reflectometry(XRR)，具体怎么做去网上搜一下一大堆
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2楼2009-05-10 19:52:26
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smallstar007

金虫 (著名写手)
呵呵，我也想知道哦，同问
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将科研进行到底！
3楼2009-05-10 20:14:01
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yhw9102

木虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
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4楼2009-05-11 10:26:55
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jinjj016

铜虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:34
xrd测试的厚度和椭圆光度法相比要差很多，说明不了问题，我建议楼主试一试椭圆光度法。
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5楼2009-05-11 19:36:12
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jiahl

金虫 (小有名气)
★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:34
椭偏仪测厚度也不是很准，是间接测量，前提是数据库中有该薄膜的详细参数，才能比较准确的模拟其厚度，对于新型材料，一般数据库很少，模拟误差很大
建议用腐蚀的办法，然后测量台阶，厚度数百纳米完全可以
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业精于勤 荒于嬉 行成于思 毁于随
6楼2009-05-12 07:50:06
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师
★
yangruirui(金币+1,VIP+0): 5-26 15:18
测厚度，可以用xrd衍射峰的宽化计算出来
自己想了个小办法，可以用腐蚀的方法，测量试样的电位变化，当电位发生突变时说明基体已经外露，然后用腐蚀速率计算出薄膜的厚度
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活着，就是向圣贤和傻瓜学习
7楼2009-05-12 10:10:49
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lyxlxl

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果试样的面积提前算出来，处理前和处理后的重量变化除以表面积就是膜厚了，对于要求误差小的可以参考前面虫友的帖子
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9楼2009-05-26 15:15:13
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yangruirui(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-27 10:18
你为什么不试试XRF，相对而言，采用XRF测量薄膜的厚度比XRD更为精确。
目前，XRD测量薄膜厚度一般在几十个纳米到几百纳米，如果薄膜的厚度再厚，就应该考虑使用台阶仪了，但是XRF可以测到几个纳米，精度还是可以的。我目前正考虑用这种方法进行测量。另外，用XRF的一个好处是不必再渴求样品表面和基体的平整度。
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10楼2009-05-27 08:59:35
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