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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜的厚度测定
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wdd20002

铜虫 (小有名气)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-29 20:13
1.用椭偏仪测定，但如果衬底和薄膜材料的折光指数相近时，则无法测定。
2.用XPS做逐步采集的模式
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11楼2009-05-27 21:02:45
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tianyicheng

至尊木虫 (知名作家)
★
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我看了很受益 谢谢各位帮助
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12楼2009-05-28 16:25:27
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douyongyong

木虫 (小有名气)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-29 20:13
SEM测厚度有误差，不太好！建议用台阶仪
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13楼2009-05-28 18:48:06
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匿名

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14楼2009-05-28 19:12:30
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匿名

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15楼2009-05-28 22:35:59
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xyq163

铜虫 (初入文坛)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-29 20:12
XRD的测量也分好多种的，单晶，多晶，粉末。
XRD的住要原理是布拉格定律的应用，主要测量样品的成分，而不是厚度。
通过波峰的特征来测量成分的仪器。
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16楼2009-05-29 15:26:44
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cxw0261683

捐助贵宾 (正式写手)
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-29 20:12
由于薄膜在基体上的沉积，会发生原子扩散现象，所以单纯的用台阶仪或者SEM或XRD是不准确的，个人建议使用SEM-EDS结合起来，SEM初步看出厚度，再利用EDS观察薄膜原子扩散的深度，这样能客观反映薄膜的厚度！纯属个人见解，请大家指正！
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17楼2009-05-29 20:07:45
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