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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人,怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊,薄膜式长在基片上的。
谢谢
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cxw0261683

捐助贵宾 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-29 20:12
由于薄膜在基体上的沉积,会发生原子扩散现象,所以单纯的用台阶仪或者SEM或XRD是不准确的,个人建议使用SEM-EDS结合起来,SEM初步看出厚度,再利用EDS观察薄膜原子扩散的深度,这样能客观反映薄膜的厚度!纯属个人见解,请大家指正!
17楼2009-05-29 20:07:45
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miloyy

木虫 (正式写手)

★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流! 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话,xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰,用软件可以拟合算出厚度,这样比较方便。

如果没有fringe峰,也可以做X-ray Reflectometry(XRR),具体怎么做去网上搜一下一大堆
2楼2009-05-10 19:52:26
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smallstar007

金虫 (著名写手)

呵呵,我也想知道哦,同问
将科研进行到底!
3楼2009-05-10 20:14:01
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yhw9102

木虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
4楼2009-05-11 10:26:55
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