应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜的厚度测定
51/1返回列表
查看: 2469  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】薄膜的厚度测定

请教各位高人，怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊，薄膜式长在基片上的。
谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

电化学-电池材料 镀膜与膜层或涂层检测

» 猜你喜欢
1楼 2009-05-10 17:40:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

smallstar007

金虫 (著名写手)
呵呵，我也想知道哦，同问
赞一下 回复此楼
将科研进行到底！
3楼2009-05-10 20:14:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

miloyy

木虫 (正式写手)
★ ★
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流！ 5-11 08:52
如果你的薄膜和衬底都很平的话，xrd扫出来的图里有可能在薄膜峰的附近看到一些fringe峰，用软件可以拟合算出厚度，这样比较方便。

如果没有fringe峰，也可以做X-ray Reflectometry(XRR)，具体怎么做去网上搜一下一大堆
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2009-05-10 19:52:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:33
我估计你说的是X射线全反射的方法吧 可以用XRD的仪器做
前提是基体本身以及膜和基体的界面必须非常平整
一般只有玻璃和Si做为基本的样品 比较适合测试
测厚膜层厚度范围大概是几个纳米到几百纳米
可以同时测多层膜的厚度
赞一下(10人) 回复此楼
4楼2009-05-11 10:26:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinjj016

铜虫 (小有名气)
★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流！ 5-12 08:34
xrd测试的厚度和椭圆光度法相比要差很多，说明不了问题，我建议楼主试一试椭圆光度法。
赞一下(10人) 回复此楼
5楼2009-05-11 19:36:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-10 01:40 by FChKX8meu1ds
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭