应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 基础理论 » 如何用XRD测量膜厚
211/1返回列表
查看: 2363  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ddtongda

新虫 (著名写手)

[交流] 如何用XRD测量膜厚

我们有XRD请问各位大咖们，你们是如何用XRD测量膜厚的，就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测，谢谢大家了。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2019-02-21 10:48:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

loaferfdu

铁杆木虫 (著名写手)
★
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度，比如1°，然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚，你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软件来拟合求出膜厚。不过XRR光路调整不那么好做哦。

如果是金属膜，并且只是单纯测试膜厚，XRF是更好的选择。
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2019-02-21 22:09:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)
有一种测试方法叫XRR，在小角度下测，也是利用布拉格方程计算，但是d值就不是原来的晶面间距，而是薄膜的上下表面距离，即膜厚，测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下，但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
11楼2019-02-21 21:44:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddtongda

新虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2019-02-21 21:44:30
有一种测试方法叫XRR，在小角度下测，也是利用布拉格方程计算，但是d值就不是原来的晶面间距，而是薄膜的上下表面距离，即膜厚，测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下，但这种只能适用于待测膜在最上 ...

谢谢，受教了。

发自小木虫Android客户端
回复此楼
13楼2019-02-22 08:17:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddtongda

新虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by loaferfdu at 2019-02-21 22:09:58
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度，比如1°，然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚，你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软 ...

非常感谢！我做做看

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
14楼2019-02-22 08:18:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

598878157

版主 (文学泰斗)
★
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
不能

发自小木虫Android客户端
回复此楼
15楼2019-02-22 08:25:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lawn2013

木虫 (著名写手)
★
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
不知道呀

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
20楼2019-05-16 07:21:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minshibi

新虫 (正式写手)
★
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
不知道

发自小木虫Android客户端
回复此楼
21楼2019-05-28 16:05:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
syhorchid2楼
2019-02-21 12:42   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2019-02-21 12:55   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
youngen4楼
2019-02-21 13:01   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
蜻蜓三只5楼
2019-02-21 13:22   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
xiaoqiuqiu206楼
2019-02-21 13:37   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
nono20097楼
2019-02-21 13:52   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
·
sz_kebaoyuan8楼
2019-02-21 16:34   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
Biotage9楼
2019-02-21 16:44   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
伽鲁特10楼
2019-02-21 21:41   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
youngen16楼
2019-02-22 21:12   回复  
youngen17楼
2019-02-22 21:12   回复  
youngen18楼
2019-02-26 10:29   回复  
youngen19楼
2019-02-26 10:30   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 ddtongda 的主题更新
211/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +3 Isak0320 2026-10-12 5/250 2026-10-12 16:42 by Isak0320
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +3 好运来～9527 2026-10-10 6/300 2026-10-12 14:55 by 简单化xn
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +4 wangyl_123 2026-10-10 7/350 2026-10-12 14:47 by chuans0923
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +5 13108017953 2026-10-08 5/250 2026-10-10 11:15 by wdwd123
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭