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如何用XRD测量膜厚
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| 我们有XRD请问各位大咖们,你们是如何用XRD测量膜厚的,就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测,谢谢大家了。 |
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12楼2019-02-21 22:09:58
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有一种测试方法叫XRR,在小角度下测,也是利用布拉格方程计算,但是d值就不是原来的晶面间距,而是薄膜的上下表面距离,即膜厚,测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下,但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况 发自小木虫IOS客户端 |
11楼2019-02-21 21:44:30
13楼2019-02-22 08:17:39
14楼2019-02-22 08:18:07
15楼2019-02-22 08:25:17
20楼2019-05-16 07:21:10
21楼2019-05-28 16:05:12
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2019-02-21 12:42
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ddtongda(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2019-02-21 12:55
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youngen4楼
2019-02-21 13:01
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蜻蜓三只5楼
2019-02-21 13:22
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。 发自小木虫Android客户端
2019-02-21 13:37
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nono20097楼
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2019-02-21 16:34
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Biotage9楼
2019-02-21 16:44
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伽鲁特10楼
2019-02-21 21:41
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youngen16楼
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2019-02-26 10:30
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