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如何用XRD测量膜厚
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| 我们有XRD请问各位大咖们，你们是如何用XRD测量膜厚的，就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测，谢谢大家了。 |
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20楼2019-05-16 07:21:10
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有一种测试方法叫XRR，在小角度下测，也是利用布拉格方程计算，但是d值就不是原来的晶面间距，而是薄膜的上下表面距离，即膜厚，测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下，但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况 发自小木虫IOS客户端 |
11楼2019-02-21 21:44:30
12楼2019-02-21 22:09:58
13楼2019-02-22 08:17:39
简单回复
youngen4楼
2019-02-21 13:01
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伽鲁特10楼
2019-02-21 21:41
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蜻蜓三只5楼
2019-02-21 13:22
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ddtongda(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端