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[交流] 如何用XRD测量膜厚

我们有XRD请问各位大咖们，你们是如何用XRD测量膜厚的，就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测，谢谢大家了。

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1楼2019-02-21 10:48:03

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ddtongda

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12楼: Originally posted by loaferfdu at 2019-02-21 22:09:58
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度，比如1°，然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚，你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软 ...

非常感谢！我做做看

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14楼2019-02-22 08:18:07

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伽鲁特

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有一种测试方法叫XRR，在小角度下测，也是利用布拉格方程计算，但是d值就不是原来的晶面间距，而是薄膜的上下表面距离，即膜厚，测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下，但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况

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11楼2019-02-21 21:44:30

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loaferfdu

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★
ddtongda(金币+1): 谢谢参与

使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度，比如1°，然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚，你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软件来拟合求出膜厚。不过XRR光路调整不那么好做哦。

如果是金属膜，并且只是单纯测试膜厚，XRF是更好的选择。

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12楼2019-02-21 22:09:58

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ddtongda

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11楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2019-02-21 21:44:30
有一种测试方法叫XRR，在小角度下测，也是利用布拉格方程计算，但是d值就不是原来的晶面间距，而是薄膜的上下表面距离，即膜厚，测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下，但这种只能适用于待测膜在最上 ...

谢谢，受教了。

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13楼2019-02-22 08:17:39

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youngen4楼

2019-02-21 13:01 回复

ddtongda(金币+1): 谢谢参与

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伽鲁特10楼

2019-02-21 21:41 回复