24小时热门版块排行榜    

查看: 2010  |  回复: 20
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

ddtongda

新虫 (著名写手)


[交流] 如何用XRD测量膜厚

我们有XRD请问各位大咖们,你们是如何用XRD测量膜厚的,就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测,谢谢大家了。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddtongda

新虫 (著名写手)


引用回帖:
12楼: Originally posted by loaferfdu at 2019-02-21 22:09:58
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度,比如1°,然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚,你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软 ...

非常感谢!我做做看

发自小木虫Android客户端
14楼2019-02-22 08:18:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答

伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)


有一种测试方法叫XRR,在小角度下测,也是利用布拉格方程计算,但是d值就不是原来的晶面间距,而是薄膜的上下表面距离,即膜厚,测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下,但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况

发自小木虫IOS客户端
11楼2019-02-21 21:44:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

loaferfdu

铁杆木虫 (著名写手)



ddtongda(金币+1): 谢谢参与
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度,比如1°,然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚,你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软件来拟合求出膜厚。不过XRR光路调整不那么好做哦。

如果是金属膜,并且只是单纯测试膜厚,XRF是更好的选择。
12楼2019-02-21 22:09:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddtongda

新虫 (著名写手)


引用回帖:
11楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2019-02-21 21:44:30
有一种测试方法叫XRR,在小角度下测,也是利用布拉格方程计算,但是d值就不是原来的晶面间距,而是薄膜的上下表面距离,即膜厚,测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下,但这种只能适用于待测膜在最上 ...

谢谢,受教了。

发自小木虫Android客户端
13楼2019-02-22 08:17:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
youngen4楼
2019-02-21 13:01   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
伽鲁特10楼
2019-02-21 21:41   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
2019-02-21 13:22   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 282分材料专业求调剂院校 +15 枫桥ZL 2026-03-09 22/1100 2026-03-11 00:13 by 枫桥ZL
[考研] 哈工大材料324求调剂 +6 闫旭东 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:49 by 星空星月
[考研] 调剂 +5 调剂的考研学生 2026-03-09 5/250 2026-03-10 22:13 by peike
[考研] 086000生物与医药319分求调剂 +4 Tolkien 2026-03-07 8/400 2026-03-10 21:34 by Tolkien
[考研] 求调剂 +4 yfihxh 2026-03-09 4/200 2026-03-10 16:50 by Pegasus0429
[考研] 一志愿天津大学,英一数二305分求调剂,四六级已过 +7 小小番的茄 2026-03-09 7/350 2026-03-10 16:48 by ztnimte
[考研] 求调剂! +3 朔朔话 2026-03-09 3/150 2026-03-10 15:48 by houyaoxu
[基金申请] PDF在线压缩软件 10+3 haxia 2026-03-08 4/200 2026-03-10 13:44 by lfy8008
[考研] 环境调剂 +5 晓看天暮看云 2026-03-09 5/250 2026-03-10 10:46 by 星空星月
[考研] 求调剂,一志愿江南大学,食品科学与工程,总分,320 +3 yyyyyukino 2026-03-07 3/150 2026-03-08 23:07 by 清风月
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-08 3/150 2026-03-08 19:34 by ms629
[考研] 化学工程与技术316求调剂 +7 Sixuan wang 2026-03-06 7/350 2026-03-08 11:23 by 我的船我的海
[考研] 322分 085600求调剂,有互联网+国金及主持省级大创经历 +4 熊境喆 2026-03-05 4/200 2026-03-07 22:04 by 星空星月
[考研] 一志愿中国石油大学(华东) 本科齐鲁工业大学 求调剂 +3 snw石 2026-03-07 3/150 2026-03-07 20:01 by houyaoxu
[考研] 一志愿211 085600 280数二英二求调剂 +3 月山斜 2026-03-06 3/150 2026-03-07 18:56 by houyaoxu
[考研] 08工科求调剂 +3 隆LLL 2026-03-06 4/200 2026-03-06 15:26 by 隆LLL
[考研] 085602高分子方向求调剂 +7 tlgudy 2026-03-04 7/350 2026-03-06 14:17 by guosr9609
[考研] 不限学校专业的调剂同学看过来 +5 啊摆啊摆 2026-03-05 9/450 2026-03-06 12:06 by 啊摆啊摆
[考研] 085602 293分求调剂 +3 SivanNano. 2026-03-05 3/150 2026-03-05 19:41 by caszguilin
[考研] 304求调剂 +4 曼殊2266 2026-03-05 4/200 2026-03-05 17:10 by zhukairuo
信息提示
请填处理意见