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ddtongda

新虫 (著名写手)


[交流] 如何用XRD测量膜厚

我们有XRD请问各位大咖们,你们是如何用XRD测量膜厚的,就是基体上镀的膜的厚度还有质量如何用XRD来检测,谢谢大家了。
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598878157

版主 (文学泰斗)



ddtongda(金币+1): 谢谢参与
15楼2019-02-22 08:25:17
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)


有一种测试方法叫XRR,在小角度下测,也是利用布拉格方程计算,但是d值就不是原来的晶面间距,而是薄膜的上下表面距离,即膜厚,测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下,但这种只能适用于待测膜在最上面且比较平整的情况

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11楼2019-02-21 21:44:30
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loaferfdu

铁杆木虫 (著名写手)



ddtongda(金币+1): 谢谢参与
使用掠入射衍射来做薄膜衍射检查薄膜结晶质量。固定X光入射角为一个小角度,比如1°,然后检测器大幅度旋转来收集信号。
使用XRR来测试膜厚,你会看到一个衰减的震荡峰。这个震荡周期和膜厚有关。当然也可以利用软件来拟合求出膜厚。不过XRR光路调整不那么好做哦。

如果是金属膜,并且只是单纯测试膜厚,XRF是更好的选择。
12楼2019-02-21 22:09:58
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ddtongda

新虫 (著名写手)


引用回帖:
11楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2019-02-21 21:44:30
有一种测试方法叫XRR,在小角度下测,也是利用布拉格方程计算,但是d值就不是原来的晶面间距,而是薄膜的上下表面距离,即膜厚,测出来之后用傅里叶变换计算膜厚。具体你可以百度一下,但这种只能适用于待测膜在最上 ...

谢谢,受教了。

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13楼2019-02-22 08:17:39
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youngen4楼
2019-02-21 13:01   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特10楼
2019-02-21 21:41   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
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2019-02-21 13:22   回复  
ddtongda(金币+1): 谢谢参与
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