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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 旋涂多层光刻胶的技巧和设备
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babyoflion

金虫 (著名写手)

[交流] 旋涂多层光刻胶的技巧和设备

各位虫友，比如我想用薄胶经过多次旋涂获得比较厚的胶的时候？需要注意哪些问题呢？ 有没有什么指导性的技术参数或者有专门的设备么?  静态滴胶和动态滴胶哪个更合适？
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1楼 2018-12-05 08:40:15
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by perry_ping at 2018-12-18 13:37:16
喷胶工艺可以喷厚的，一次就成

现在喷胶工艺能够喷出来光亮膜么？我上次喷过一次 表面非常粗糙，而且拼接区域和其他地方厚度不一样
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27楼2018-12-20 10:17:21
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
一般涂双层胶，是涂完一层，烘烤，再涂一层，我觉得多层胶也是这个原理，但是你多层就代表要进行多次烘烤，多次烘烤会对你的光刻胶感光性造成影响，导致曝光不完全和显影不完全。
我觉得你可以把你的光刻胶溶剂蒸发一部分使其粘度增大，或者两个方法一起使用
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15楼2018-12-06 08:57:28
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-06 08:57:28
一般涂双层胶，是涂完一层，烘烤，再涂一层，我觉得多层胶也是这个原理，但是你多层就代表要进行多次烘烤，多次烘烤会对你的光刻胶感光性造成影响，导致曝光不完全和显影不完全。
我觉得你可以把你的光刻胶溶剂蒸发 ...

谢谢回复，现在我试过了，烘烤后静态滴胶的边缘都会出现溶解的痕迹，动态滴胶呢，在界面上的铺展又不是特别好
产业里或者有标准的多层胶工艺么
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16楼2018-12-06 13:46:10
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by babyoflion at 2018-12-06 13:46:10
谢谢回复，现在我试过了，烘烤后静态滴胶的边缘都会出现溶解的痕迹，动态滴胶呢，在界面上的铺展又不是特别好
产业里或者有标准的多层胶工艺么...

能说一下你的光刻胶型号，粘度么，还有你使用的涂胶机台型号，和需要的光刻胶厚度是多少呢？这样才更好帮你分析一些。一般产业里有这种技术我知道的也只有双层光刻胶涂覆，用于特殊Liftoff工艺，也是涂完烘烤在进行旋涂的方法做的。
表面铺展是不会好，会有一些水波纹的情况出现，因为毕竟是在光刻胶表面在涂光刻胶，两者之间的表面张力，摩擦力都会跟你在Si表面不一样。
你有没有试过把光刻胶溶剂去除一些使光刻胶粘度更大一些的方法呢？
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17楼2018-12-07 15:46:53
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-07 15:46:53
能说一下你的光刻胶型号，粘度么，还有你使用的涂胶机台型号，和需要的光刻胶厚度是多少呢？这样才更好帮你分析一些。一般产业里有这种技术我知道的也只有双层光刻胶涂覆，用于特殊Liftoff工艺，也是涂完烘烤在进行 ...

也没啥就是实验室条件有限，买了些8u的胶 有时候想做15um厚的胶，但是不舍得买新胶
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19楼2018-12-17 09:04:42
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dyzhang1217

新虫 (初入文坛)
★
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
19楼: Originally posted by babyoflion at 2018-12-17 09:04:42
也没啥就是实验室条件有限，买了些8u的胶 有时候想做15um厚的胶，但是不舍得买新胶...

丝网印刷是个不错的选择
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20楼2018-12-17 16:55:53
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dyzhang1217

新虫 (初入文坛)
丝网印刷可以不？能解决不？
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21楼2018-12-17 16:57:03
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hero_hzx

新虫 (初入文坛)
★
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
没啥特别的，注意两次前烘焙时间的区别

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22楼2018-12-18 06:05:01
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hero_hzx

新虫 (初入文坛)
给你个参考，一般520cst左右的dnq光刻胶，第一次上胶烘焙时间110° C，80 s和第二次115° C 180 s

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23楼2018-12-18 06:09:44
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perry_ping

新虫 (著名写手)
★
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
喷胶工艺可以喷厚的，一次就成
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24楼2018-12-18 13:37:16
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by dyzhang1217 at 2018-12-17 16:55:53
丝网印刷是个不错的选择...

丝网出来的表面平整度不行吧？我需要做光刻用的，缺陷控制
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25楼2018-12-20 10:15:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by hero_hzx at 2018-12-18 06:09:44
给你个参考，一般520cst左右的dnq光刻胶，第一次上胶烘焙时间110° C，80 s和第二次115° C 180 s

第两次滴胶的时候是动态滴胶还是静态滴胶，如果滴不满的话 那个滴胶的边缘会有痕迹的
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26楼2018-12-20 10:16:40
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匿名

用户注销 (知名作家)
★
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
本帖仅楼主可见
29楼2019-01-04 15:58:41
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Alex.Liu

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
每次旋涂完后要软烘一下，膜的厚度和旋涂速度有关系，多试几次就可以找到想要的厚度了

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31楼2019-02-08 20:30:53
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thermoelectric

木虫 (小有名气)
用SU8胶不行？
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32楼2019-02-11 17:34:19
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love spring

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
匀胶机可以旋涂的，转动速度越慢胶就越厚

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33楼2019-02-13 16:18:26
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QQ26681749032楼
2018-12-05 08:52   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特3楼
2018-12-05 08:58   回复  
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nono20094楼
2018-12-05 09:00   回复  
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`
chmzh11235楼
2018-12-05 09:16   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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gengxin606楼
2018-12-05 11:28   回复  
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miaojiabing7楼
2018-12-05 16:31   回复  
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youngen8楼
2018-12-05 17:14   回复  
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tzynew9楼
2018-12-05 17:31   回复  
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slytjiaofei10楼
2018-12-05 17:40   回复  
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kingluck11楼
2018-12-05 20:31   回复  
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xiaoqiuqiu2012楼
2018-12-05 21:09   回复  
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Biotage13楼
2018-12-05 21:57   回复  
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sz_kebaoyuan14楼
2018-12-05 22:10   回复  
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youngen18楼
2018-12-08 14:57   回复  
脾气怪怪28楼
2018-12-23 10:25   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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爱不会绝迹30楼
2019-01-11 17:37   回复  
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