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旋涂多层光刻胶的技巧和设备
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babyoflion
金虫
(著名写手)
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帖子: 2499
在线: 671.9小时
虫号: 2297725
[交流]
旋涂多层光刻胶的技巧和设备
各位虫友,比如我想用薄胶经过多次旋涂获得比较厚的胶的时候?需要注意哪些问题呢? 有没有什么指导性的技术参数或者有专门的设备么? 静态滴胶和动态滴胶哪个更合适?
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1楼
2018-12-05 08:40:15
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Alex.Liu
金虫
(著名写手)
应助: 2
(幼儿园)
金币: 189.1
帖子: 2048
在线: 166.4小时
虫号: 2544046
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
每次旋涂完后要软烘一下,膜的厚度和旋涂速度有关系,多试几次就可以找到想要的厚度了
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31楼
2019-02-08 20:30:53
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chmzh1123
5楼
2018-12-05 09:16
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特
3楼
2018-12-05 08:58
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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QQ2668174903
2楼
2018-12-05 08:52
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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