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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 旋涂多层光刻胶的技巧和设备
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babyoflion

金虫 (著名写手)

[交流] 旋涂多层光刻胶的技巧和设备

各位虫友，比如我想用薄胶经过多次旋涂获得比较厚的胶的时候？需要注意哪些问题呢？ 有没有什么指导性的技术参数或者有专门的设备么?  静态滴胶和动态滴胶哪个更合适？
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1楼2018-12-05 08:40:15
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-07 15:46:53
能说一下你的光刻胶型号，粘度么，还有你使用的涂胶机台型号，和需要的光刻胶厚度是多少呢？这样才更好帮你分析一些。一般产业里有这种技术我知道的也只有双层光刻胶涂覆，用于特殊Liftoff工艺，也是涂完烘烤在进行 ...

也没啥就是实验室条件有限，买了些8u的胶 有时候想做15um厚的胶，但是不舍得买新胶
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19楼2018-12-17 09:04:42
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chmzh11235楼
2018-12-05 09:16   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特3楼
2018-12-05 08:58   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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QQ26681749032楼
2018-12-05 08:52   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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