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旋涂多层光刻胶的技巧和设备
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babyoflion
金虫
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[交流]
旋涂多层光刻胶的技巧和设备
各位虫友,比如我想用薄胶经过多次旋涂获得比较厚的胶的时候?需要注意哪些问题呢? 有没有什么指导性的技术参数或者有专门的设备么? 静态滴胶和动态滴胶哪个更合适?
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2018-12-05 08:40:15
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babyoflion
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引用回帖:
17楼
:
Originally posted by
gyxzby
at 2018-12-07 15:46:53
能说一下你的光刻胶型号,粘度么,还有你使用的涂胶机台型号,和需要的光刻胶厚度是多少呢?这样才更好帮你分析一些。一般产业里有这种技术我知道的也只有双层光刻胶涂覆,用于特殊Liftoff工艺,也是涂完烘烤在进行 ...
也没啥就是实验室条件有限,买了些8u的胶 有时候想做15um厚的胶,但是不舍得买新胶
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19楼
2018-12-17 09:04:42
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chmzh1123
5楼
2018-12-05 09:16
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特
3楼
2018-12-05 08:58
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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QQ2668174903
2楼
2018-12-05 08:52
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babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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