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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 旋涂多层光刻胶的技巧和设备
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babyoflion

金虫 (著名写手)

[交流] 旋涂多层光刻胶的技巧和设备

各位虫友，比如我想用薄胶经过多次旋涂获得比较厚的胶的时候？需要注意哪些问题呢？ 有没有什么指导性的技术参数或者有专门的设备么?  静态滴胶和动态滴胶哪个更合适？
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1楼2018-12-05 08:40:15
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-06 08:57:28
一般涂双层胶，是涂完一层，烘烤，再涂一层，我觉得多层胶也是这个原理，但是你多层就代表要进行多次烘烤，多次烘烤会对你的光刻胶感光性造成影响，导致曝光不完全和显影不完全。
我觉得你可以把你的光刻胶溶剂蒸发 ...

谢谢回复，现在我试过了，烘烤后静态滴胶的边缘都会出现溶解的痕迹，动态滴胶呢，在界面上的铺展又不是特别好
产业里或者有标准的多层胶工艺么
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16楼2018-12-06 13:46:10
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chmzh11235楼
2018-12-05 09:16   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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伽鲁特3楼
2018-12-05 08:58   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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QQ26681749032楼
2018-12-05 08:52   回复  
babyoflion(金币+1): 谢谢参与
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