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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜样品XRD
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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

[求助] 薄膜样品XRD 已有5人参与

求助：
    我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料，想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描，只有衬底峰，没有样品峰。也尝试过掠入射，但不太懂具体原理，也没有测出来。我的样品厚度较薄，大约只有10nm。
    请问有擅长XRD的虫友，有一些什么好的建议吗？
    谢谢~
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1楼 2018-08-20 11:26:05
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Mr.LZP

铜虫 (著名写手)

皮一下，很开心~

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
掠射适合薄膜样品不假，但是适合厚度在100nm以上的，10nm的我留意一下好的测试方式，需要可以私信
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2楼2018-08-20 11:41:03
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匿名

用户注销 (初入文坛)
感谢参与，应助指数 +1
本帖仅楼主可见
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5楼2018-08-20 15:14:33
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dengfu5

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先你要告诉大家你做的是单晶还是多晶薄膜。其次GIXRD更适合测10nm以下薄膜的，对于多晶体，2nm薄膜的晶向我都测试过，1楼说的并不对。GIXRD比较复杂，如果你需要可以私信我，我虽然不算精通，但是能帮你做一个基本的判断。
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7楼2018-08-21 15:02:49
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普通回帖

gaoxd1610

新虫 (正式写手)
减薄使用TEM测试

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3楼2018-08-20 12:10:27
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gaomenglei

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gaoxd1610 at 2018-08-20 12:10:27
减薄使用TEM测试

我现在是想有一张XRD的图，用对应的特征峰来表征材料。TEM只能打出衍射斑点吧？
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4楼2018-08-20 14:54:42
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gaoxd1610

新虫 (正式写手)
还可以测STM，不过这么薄的样品本来就是微观的，测XRD有毛用？

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6楼2018-08-20 22:41:58
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happy_zbh

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
您好，版主测试分析的目的是看晶格取向还是确认材料的晶格特征；针对10nm左右的材料，我建议用以下几个测试，如：EBSD-测试晶粒分部，Grain size等；CAFM（原子间结构）；AES，元素区域定量分析（Li-U元素），膜厚测量TXRF;相关测试我这边都有资源；
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8楼2018-08-22 15:13:09
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Imloser

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by e测试静 at 2018-08-20 15:14:33
XRD不太好做，样品太薄了。做掠射的话，样品也是最好100nm以上，你这个10nm的话，测出来很可能也都是基底峰。

同求方法，我的薄膜也只有30nm，测不出来啊。。。。

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9楼2018-09-01 18:48:55
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frankgau

新虫 (初入文坛)
TEM做选区绕射

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10楼2018-09-12 00:15:14
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