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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

[求助] 薄膜样品XRD 已有5人参与

求助:
    我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料,想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描,只有衬底峰,没有样品峰。也尝试过掠入射,但不太懂具体原理,也没有测出来。我的样品厚度较薄,大约只有10nm。
    请问有擅长XRD的虫友,有一些什么好的建议吗?
    谢谢~
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Mr.LZP

铜虫 (著名写手)

皮一下,很开心~


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
掠射适合薄膜样品不假,但是适合厚度在100nm以上的,10nm的我留意一下好的测试方式,需要可以私信
2楼2018-08-20 11:41:03
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匿名

用户注销 (初入文坛)


感谢参与,应助指数 +1
本帖仅楼主可见
5楼2018-08-20 15:14:33
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dengfu5

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先你要告诉大家你做的是单晶还是多晶薄膜。其次GIXRD更适合测10nm以下薄膜的,对于多晶体,2nm薄膜的晶向我都测试过,1楼说的并不对。GIXRD比较复杂,如果你需要可以私信我,我虽然不算精通,但是能帮你做一个基本的判断。
7楼2018-08-21 15:02:49
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普通回帖

gaoxd1610

新虫 (正式写手)

3楼2018-08-20 12:10:27
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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gaoxd1610 at 2018-08-20 12:10:27
减薄使用TEM测试

我现在是想有一张XRD的图,用对应的特征峰来表征材料。TEM只能打出衍射斑点吧?
4楼2018-08-20 14:54:42
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gaoxd1610

新虫 (正式写手)

还可以测STM,不过这么薄的样品本来就是微观的,测XRD有毛用?

发自小木虫Android客户端
6楼2018-08-20 22:41:58
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happy_zbh

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
您好,版主测试分析的目的是看晶格取向还是确认材料的晶格特征;针对10nm左右的材料,我建议用以下几个测试,如:EBSD-测试晶粒分部,Grain size等;CAFM(原子间结构);AES,元素区域定量分析(Li-U元素),膜厚测量TXRF;相关测试我这边都有资源;
8楼2018-08-22 15:13:09
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Imloser

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by e测试静 at 2018-08-20 15:14:33
XRD不太好做,样品太薄了。做掠射的话,样品也是最好100nm以上,你这个10nm的话,测出来很可能也都是基底峰。

同求方法,我的薄膜也只有30nm,测不出来啊。。。。

发自小木虫Android客户端
9楼2018-09-01 18:48:55
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frankgau

新虫 (初入文坛)

10楼2018-09-12 00:15:14
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