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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

[求助] 薄膜样品XRD已有5人参与

求助:
    我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料,想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描,只有衬底峰,没有样品峰。也尝试过掠入射,但不太懂具体原理,也没有测出来。我的样品厚度较薄,大约只有10nm。
    请问有擅长XRD的虫友,有一些什么好的建议吗?
    谢谢~
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happy_zbh

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
您好,版主测试分析的目的是看晶格取向还是确认材料的晶格特征;针对10nm左右的材料,我建议用以下几个测试,如:EBSD-测试晶粒分部,Grain size等;CAFM(原子间结构);AES,元素区域定量分析(Li-U元素),膜厚测量TXRF;相关测试我这边都有资源;
8楼2018-08-22 15:13:09
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