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薄膜样品XRD
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gaomenglei
铁虫
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专业: 半导体材料
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薄膜样品XRD
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我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料,想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描,只有衬底峰,没有样品峰。也尝试过掠入射,但不太懂具体原理,也没有测出来。我的样品厚度较薄,大约只有10nm。
请问有擅长XRD的虫友,有一些什么好的建议吗?
谢谢~
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1楼
2018-08-20 11:26:05
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gaomenglei
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专业: 半导体材料
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3楼
:
Originally posted by
gaoxd1610
at 2018-08-20 12:10:27
减薄使用TEM测试
我现在是想有一张XRD的图,用对应的特征峰来表征材料。TEM只能打出衍射斑点吧?
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4楼
2018-08-20 14:54:42
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Mr.LZP
铜虫
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【答案】应助回帖
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掠射适合薄膜样品不假,但是适合厚度在100nm以上的,10nm的我留意一下好的测试方式,需要可以私信
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2楼
2018-08-20 11:41:03
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gaoxd1610
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减薄使用TEM测试
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3楼
2018-08-20 12:10:27
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5楼
2018-08-20 15:14:33
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