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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜样品XRD
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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

[求助] 薄膜样品XRD 已有5人参与

求助：
    我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料，想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描，只有衬底峰，没有样品峰。也尝试过掠入射，但不太懂具体原理，也没有测出来。我的样品厚度较薄，大约只有10nm。
    请问有擅长XRD的虫友，有一些什么好的建议吗？
    谢谢~
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1楼 2018-08-20 11:26:05
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Imloser

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by e测试静 at 2018-08-20 15:14:33
XRD不太好做，样品太薄了。做掠射的话，样品也是最好100nm以上，你这个10nm的话，测出来很可能也都是基底峰。

同求方法，我的薄膜也只有30nm，测不出来啊。。。。

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9楼2018-09-01 18:48:55
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Mr.LZP

铜虫 (著名写手)

皮一下，很开心~

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
掠射适合薄膜样品不假，但是适合厚度在100nm以上的，10nm的我留意一下好的测试方式，需要可以私信
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2楼2018-08-20 11:41:03
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gaoxd1610

新虫 (正式写手)
减薄使用TEM测试

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3楼2018-08-20 12:10:27
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gaomenglei

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gaoxd1610 at 2018-08-20 12:10:27
减薄使用TEM测试

我现在是想有一张XRD的图，用对应的特征峰来表征材料。TEM只能打出衍射斑点吧？
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4楼2018-08-20 14:54:42
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