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gaomenglei

铁虫 (正式写手)

[求助] 薄膜样品XRD已有5人参与

求助:
    我在蓝宝石衬底上生长薄膜材料,想要测该材料的XRD。之前尝试过普通的2θ扫描,只有衬底峰,没有样品峰。也尝试过掠入射,但不太懂具体原理,也没有测出来。我的样品厚度较薄,大约只有10nm。
    请问有擅长XRD的虫友,有一些什么好的建议吗?
    谢谢~
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dengfu5

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先你要告诉大家你做的是单晶还是多晶薄膜。其次GIXRD更适合测10nm以下薄膜的,对于多晶体,2nm薄膜的晶向我都测试过,1楼说的并不对。GIXRD比较复杂,如果你需要可以私信我,我虽然不算精通,但是能帮你做一个基本的判断。
7楼2018-08-21 15:02:49
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