| 查看: 3319 | 回复: 6 | |||
[交流]
磁控溅射镀膜两靶共溅射应该怎么溅射？ 已有4人参与
|
|
是让基底旋转还是放在两靶中心位置让其共溅射！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
上海交通大学智慧能源创新学院曾美容课题组招聘博士后
已经有1人回复
-
科研工业磁场实验优选！WDS-50卧式电磁铁
已经有0人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有245人回复
-
求助下载PRL已发表文章
已经有2人回复
-
专为科研与技术文档打造的 PDF 阅读器
已经有1人回复
-
求助硅钨酸cif文件
已经有0人回复
-
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有108人回复
-
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有103人回复
-
东南大学能源与环境学院-林日琛教授课题组-27级博士招生
已经有103人回复
-
生物质转化方向博士招生
已经有0人回复
-
催化方向博士招生
已经有0人回复
138dong
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1631.4
- 散金: 115
- 红花: 3
- 帖子: 342
- 在线: 36.1小时
- 虫号: 1322355
- 注册: 2011-06-13
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2018-07-24 09:19:28
3楼2018-07-24 09:22:00
4楼2018-07-24 09:31:50
5楼2018-07-24 09:32:01
L小懒虫
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 10011.5
- 红花: 4
- 帖子: 1884
- 在线: 95.7小时
- 虫号: 7733703
- 注册: 2018-01-06
- 专业: 金属材料的微观结构
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
这两种方式在一定范围内都可以改善涂层的均匀性，适当提高靶基距离也可以提高均匀性，改变基体与靶材的相对角度也可以改善均匀性，一般远端稍微倾斜3到5度 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2018-07-24 17:17:56
pvdmaterial
新虫 (小有名气)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 269.7
- 散金: 43
- 红花: 3
- 帖子: 260
- 在线: 41.6小时
- 虫号: 4255749
- 注册: 2015-11-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2018-07-25 17:25:45
50