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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 12.8
散金: 90
红花: 2
帖子: 176
在线: 23.3小时
虫号: 7008387
注册: 2017-07-30
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和

[交流] 磁控溅射镀膜两靶共溅射应该怎么溅射？已有4人参与

是让基底旋转还是放在两靶中心位置让其共溅射！

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1楼 2018-07-24 09:17:25

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L小懒虫

木虫 (著名写手)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 10011.5
红花: 4
帖子: 1884
在线: 95.7小时
虫号: 7733703
注册: 2018-01-06
专业: 金属材料的微观结构

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

这两种方式在一定范围内都可以改善涂层的均匀性，适当提高靶基距离也可以提高均匀性，改变基体与靶材的相对角度也可以改善均匀性，一般远端稍微倾斜3到5度

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6楼2018-07-24 17:17:56

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查看全部 7 个回答

138dong

金虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1631.4
散金: 115
红花: 3
帖子: 342
在线: 36.1小时
虫号: 1322355
注册: 2011-06-13
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

都可以

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书上有路勤为径

2楼2018-07-24 09:19:28

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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 11493
散金: 1051
红花: 13
帖子: 2269
在线: 349.9小时
虫号: 2798012
注册: 2013-11-13
专业: 半导体光电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

估计后一种不均匀

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3楼2018-07-24 09:22:00

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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 12.8
散金: 90
红花: 2
帖子: 176
在线: 23.3小时
虫号: 7008387
注册: 2017-07-30
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和

引用回帖:

2楼: Originally posted by 138dong at 2018-07-24 09:19:28
都可以

谢谢

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4楼2018-07-24 09:31:50

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