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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜两靶共溅射应该怎么溅射?已有4人参与

是让基底旋转还是放在两靶中心位置让其共溅射!

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L小懒虫

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这两种方式在一定范围内都可以改善涂层的均匀性,适当提高靶基距离也可以提高均匀性,改变基体与靶材的相对角度也可以改善均匀性,一般远端稍微倾斜3到5度

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6楼2018-07-24 17:17:56
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138dong

金虫 (正式写手)

书上有路勤为径
2楼2018-07-24 09:19:28
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计后一种不均匀

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3楼2018-07-24 09:22:00
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 138dong at 2018-07-24 09:19:28
都可以

谢谢

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4楼2018-07-24 09:31:50
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