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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


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求解答磁控溅射偏压问题
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求大神指导   用磁控溅射生长薄膜时,衬底偏压和射频偏压是怎么加的?二者区别是什么呀??

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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)



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射频偏压,在不是特意加偏压电源的情况下,是属于自偏压,一般是负压,是由于真空室接地且面积大、电子运动速度快造成的。

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36楼2018-07-07 15:28:34
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)


17楼2018-07-07 13:19:37
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
17楼: Originally posted by pipy at 2018-07-07 13:19:37
一回事情

那是怎么加这个偏压呢?

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34楼2018-07-07 15:10:48
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)


35楼2018-07-07 15:26:13
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
也可以给衬底电极板专门加一个偏压电源,一般是直流负偏压或脉冲负偏压,或者直流与脉冲负偏压的组合,主要是为了吸引正离子轰击膜层,使膜层致密或结晶。还有一种双极性脉冲的电源,一般是不对称的,负极性为主,正极性为辅

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37楼2018-07-07 15:32:55
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


好专业呀。。。你的意思是可以后期改造一下仪器给衬底加偏压电源吗??

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38楼2018-07-07 22:53:34
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
36楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-07 15:28:34
射频偏压,在不是特意加偏压电源的情况下,是属于自偏压,一般是负压,是由于真空室接地且面积大、电子运动速度快造成的。

意思射频本身就有偏压??

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39楼2018-07-07 22:54:20
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
39楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-07 22:54:20
意思射频本身就有偏压??
...

射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的

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40楼2018-07-08 10:01:25
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

真空放电过程中产生

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41楼2018-07-08 10:01:59
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

偏压显示?在哪能看呢??
我们这没用过偏压,以前没关注过这个问题,得麻烦你细细解答一下了

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42楼2018-07-08 13:07:26
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
41楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:59
真空放电过程中产生
...

那怎么来控制这个偏压的大小呢?

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43楼2018-07-08 13:07:53
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啊吖吖

新虫 (初入文坛)



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偏压和补偿功率有关系么

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44楼2018-07-08 23:50:41
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)



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引用回帖:
42楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-08 13:07:26
偏压显示?在哪能看呢??
我们这没用过偏压,以前没关注过这个问题,得麻烦你细细解答一下了
...

有的电源上就带着自偏压的显示仪表。你们用的是哪家公司的射频电源?

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45楼2018-07-09 00:41:07
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)



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引用回帖:
43楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-08 13:07:53
那怎么来控制这个偏压的大小呢?
...

一般没法去特意控制自偏压,放电过程中是多少就算多少。受放电装置参数、工艺参数的影响

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46楼2018-07-09 00:43:13
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野人禾禾

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
lywzd16已经解答的相专业了。衬底偏压 是需要另外单独接电源的,而射频偏压也就是自偏压,是正负电子速度不同宏观显示出的电压,这个只要是射频就有,只是有些不显示出来。

另你的射频电源型号?
47楼2018-07-09 10:01:05
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

好的,我一会去看一下这边的射频电源

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48楼2018-07-09 12:49:42
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
45楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-09 00:41:07
有的电源上就带着自偏压的显示仪表。你们用的是哪家公司的射频电源?
...

我记得我们是AE的

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49楼2018-07-09 12:50:14
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)


引用回帖:
47楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 10:01:05
lywzd16已经解答的相专业了。衬底偏压 是需要另外单独接电源的,而射频偏压也就是自偏压,是正负电子速度不同宏观显示出的电压,这个只要是射频就有,只是有些不显示出来。

另你的射频电源型号?

嗯嗯,懂了。真是谢谢啦
我一会去看一下型号,我只记得是AE的电源,不记得型号了。

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50楼2018-07-09 12:51:15
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yffs19712楼
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zl5105537楼
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阿达丶9楼
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zyh401410楼
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cherry_52011楼
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panyuk12楼
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pandongzi13楼
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hp360025楼
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jixiangbao27楼
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蓝鼠29楼
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138dong31楼
2018-07-07 13:58   回复  
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2018-07-07 14:02   回复  
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