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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
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求解答磁控溅射偏压问题
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求大神指导   用磁控溅射生长薄膜时，衬底偏压和射频偏压是怎么加的？二者区别是什么呀？？

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1楼 2018-07-07 13:06:43
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
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射频偏压，在不是特意加偏压电源的情况下，是属于自偏压，一般是负压，是由于真空室接地且面积大、电子运动速度快造成的。

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36楼2018-07-07 15:28:34
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pipy

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一回事情

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17楼2018-07-07 13:19:37
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by pipy at 2018-07-07 13:19:37
一回事情

那是怎么加这个偏压呢？

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34楼2018-07-07 15:10:48
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
不是一回事

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35楼2018-07-07 15:26:13
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
也可以给衬底电极板专门加一个偏压电源，一般是直流负偏压或脉冲负偏压，或者直流与脉冲负偏压的组合，主要是为了吸引正离子轰击膜层，使膜层致密或结晶。还有一种双极性脉冲的电源，一般是不对称的，负极性为主，正极性为辅

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37楼2018-07-07 15:32:55
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
好专业呀。。。你的意思是可以后期改造一下仪器给衬底加偏压电源吗？？

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38楼2018-07-07 22:53:34
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
36楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-07 15:28:34
射频偏压，在不是特意加偏压电源的情况下，是属于自偏压，一般是负压，是由于真空室接地且面积大、电子运动速度快造成的。

意思射频本身就有偏压？？

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39楼2018-07-07 22:54:20
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
39楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-07 22:54:20
意思射频本身就有偏压？？
...

射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的

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40楼2018-07-08 10:01:25
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

真空放电过程中产生

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41楼2018-07-08 10:01:59
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

偏压显示？在哪能看呢？？
我们这没用过偏压，以前没关注过这个问题，得麻烦你细细解答一下了

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42楼2018-07-08 13:07:26
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
41楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:59
真空放电过程中产生
...

那怎么来控制这个偏压的大小呢？

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43楼2018-07-08 13:07:53
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啊吖吖

新虫 (初入文坛)
★
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偏压和补偿功率有关系么

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44楼2018-07-08 23:50:41
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
42楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-08 13:07:26
偏压显示？在哪能看呢？？
我们这没用过偏压，以前没关注过这个问题，得麻烦你细细解答一下了
...

有的电源上就带着自偏压的显示仪表。你们用的是哪家公司的射频电源？

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45楼2018-07-09 00:41:07
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
43楼: Originally posted by sunshine*昱 at 2018-07-08 13:07:53
那怎么来控制这个偏压的大小呢？
...

一般没法去特意控制自偏压，放电过程中是多少就算多少。受放电装置参数、工艺参数的影响

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46楼2018-07-09 00:43:13
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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lywzd16已经解答的相专业了。衬底偏压 是需要另外单独接电源的，而射频偏压也就是自偏压，是正负电子速度不同宏观显示出的电压，这个只要是射频就有，只是有些不显示出来。

另你的射频电源型号？
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47楼2018-07-09 10:01:05
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
40楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...

好的，我一会去看一下这边的射频电源

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48楼2018-07-09 12:49:42
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
45楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-09 00:41:07
有的电源上就带着自偏压的显示仪表。你们用的是哪家公司的射频电源？
...

我记得我们是AE的

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49楼2018-07-09 12:50:14
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sunshine*昱

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引用回帖:
47楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 10:01:05
lywzd16已经解答的相专业了。衬底偏压 是需要另外单独接电源的，而射频偏压也就是自偏压，是正负电子速度不同宏观显示出的电压，这个只要是射频就有，只是有些不显示出来。

另你的射频电源型号？

嗯嗯，懂了。真是谢谢啦
我一会去看一下型号，我只记得是AE的电源，不记得型号了。

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50楼2018-07-09 12:51:15
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yffs19712楼
2018-07-07 13:06   回复  
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hdchina20103楼
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zl5105537楼
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xspring080832楼
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