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求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱
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求大神指导 用磁控溅射生长薄膜时,衬底偏压和射频偏压是怎么加的?二者区别是什么呀??
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lywzd16
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引用回帖:
43楼
:
Originally posted by
sunshine*昱
at 2018-07-08 13:07:53
那怎么来控制这个偏压的大小呢?
...
一般没法去特意控制自偏压,放电过程中是多少就算多少。受放电装置参数、工艺参数的影响
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46楼
2018-07-09 00:43:13
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yffs1971
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2018-07-07 13:06
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hdchina2010
3楼
2018-07-07 13:06
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wxiaona
4楼
2018-07-07 13:07
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littlemouse
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2018-07-07 13:07
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13720194603
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2018-07-07 13:08
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zl510553
7楼
2018-07-07 13:08
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1179215591
8楼
2018-07-07 13:09
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阿达丶
9楼
2018-07-07 13:10
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zyh4014
10楼
2018-07-07 13:11
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cherry_520
11楼
2018-07-07 13:12
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panyuk
12楼
2018-07-07 13:15
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pandongzi
13楼
2018-07-07 13:17
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chenrk-buct
14楼
2018-07-07 13:18
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