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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
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求解答磁控溅射偏压问题
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求大神指导   用磁控溅射生长薄膜时，衬底偏压和射频偏压是怎么加的？二者区别是什么呀？？

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1楼 2018-07-07 13:06:43
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
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也可以给衬底电极板专门加一个偏压电源，一般是直流负偏压或脉冲负偏压，或者直流与脉冲负偏压的组合，主要是为了吸引正离子轰击膜层，使膜层致密或结晶。还有一种双极性脉冲的电源，一般是不对称的，负极性为主，正极性为辅

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37楼2018-07-07 15:32:55
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yffs19712楼
2018-07-07 13:06   回复  
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hdchina20103楼
2018-07-07 13:06   回复  
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wxiaona4楼
2018-07-07 13:07   回复  
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littlemouse5楼
2018-07-07 13:07   回复  
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137201946036楼
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zl5105537楼
2018-07-07 13:08   回复  
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11792155918楼
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阿达丶9楼
2018-07-07 13:10   回复  
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zyh401410楼
2018-07-07 13:11   回复  
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cherry_52011楼
2018-07-07 13:12   回复  
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panyuk12楼
2018-07-07 13:15   回复  
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pandongzi13楼
2018-07-07 13:17   回复  
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chenrk-buct14楼
2018-07-07 13:18   回复  
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