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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
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求解答磁控溅射偏压问题
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求大神指导   用磁控溅射生长薄膜时，衬底偏压和射频偏压是怎么加的？二者区别是什么呀？？

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1楼 2018-07-07 13:06:43
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sunshine*昱

新虫 (正式写手)
引用回帖:
47楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 10:01:05
lywzd16已经解答的相专业了。衬底偏压 是需要另外单独接电源的，而射频偏压也就是自偏压，是正负电子速度不同宏观显示出的电压，这个只要是射频就有，只是有些不显示出来。

另你的射频电源型号？

嗯嗯，懂了。真是谢谢啦
我一会去看一下型号，我只记得是AE的电源，不记得型号了。

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50楼2018-07-09 12:51:15
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yffs19712楼
2018-07-07 13:06   回复  
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hdchina20103楼
2018-07-07 13:06   回复  
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wxiaona4楼
2018-07-07 13:07   回复  
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littlemouse5楼
2018-07-07 13:07   回复  
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137201946036楼
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zl5105537楼
2018-07-07 13:08   回复  
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11792155918楼
2018-07-07 13:09   回复  
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阿达丶9楼
2018-07-07 13:10   回复  
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zyh401410楼
2018-07-07 13:11   回复  
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cherry_52011楼
2018-07-07 13:12   回复  
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panyuk12楼
2018-07-07 13:15   回复  
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pandongzi13楼
2018-07-07 13:17   回复  
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chenrk-buct14楼
2018-07-07 13:18   回复  
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