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求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱
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求大神指导 用磁控溅射生长薄膜时,衬底偏压和射频偏压是怎么加的?二者区别是什么呀??
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sunshine*昱
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40楼
:
Originally posted by
lywzd16
at 2018-07-08 10:01:25
射频本身会产生偏压的。好多射频电源有个偏压显示的
...
偏压显示?在哪能看呢??
我们这没用过偏压,以前没关注过这个问题,得麻烦你细细解答一下了
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42楼
2018-07-08 13:07:26
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yffs1971
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hdchina2010
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wxiaona
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littlemouse
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13720194603
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zl510553
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阿达丶
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zyh4014
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cherry_520
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panyuk
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pandongzi
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chenrk-buct
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