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求解答磁控溅射偏压问题
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sunshine*昱
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求大神指导 用磁控溅射生长薄膜时,衬底偏压和射频偏压是怎么加的?二者区别是什么呀??
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sunshine*昱
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17楼
:
Originally posted by
pipy
at 2018-07-07 13:19:37
一回事情
那是怎么加这个偏压呢?
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34楼
2018-07-07 15:10:48
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yffs1971
2楼
2018-07-07 13:06
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hdchina2010
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2018-07-07 13:06
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wxiaona
4楼
2018-07-07 13:07
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littlemouse
5楼
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13720194603
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2018-07-07 13:08
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zl510553
7楼
2018-07-07 13:08
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1179215591
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阿达丶
9楼
2018-07-07 13:10
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zyh4014
10楼
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cherry_520
11楼
2018-07-07 13:12
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panyuk
12楼
2018-07-07 13:15
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pandongzi
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chenrk-buct
14楼
2018-07-07 13:18
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