| 查看: 2436 | 回复: 9 | |||
[求助]
最近用射频溅射镀二氧化硅膜和铬膜，一直没溅射 已有2人参与
|
| 之前用射频溅射铜靶材镀铜膜镀膜效果还可以，最近用改成二氧化硅和铬靶材，一直没溅射是怎么回事呢，靶材是2英寸的，射频功率调的是100W，更换靶材匹配也调了反射功率不大，二氧化硅和铬就是溅射不出来 很郁闷 。。。 麻烦虫友分析下 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射镀膜工艺 |
» 猜你喜欢
2026年面上项目中了，2A+B, 会评顺利通过
已经有9人回复
-
今年E04面上
已经有16人回复
-
大龄残疾硕士的一点执念
已经有16人回复
-
刑法学论文投稿求助
已经有5人回复
-
Journal of Environmental Chemical Engineering
已经有3人回复
-
最后一年，祈求好运
已经有3人回复
-
风电环氧领域
已经有3人回复
-
售T0P一区SCI文章，我:8O5.51.O.54,科目齐全,可＋急
已经有4人回复
-
售T0P一区SCI文章，我:8O5.51.O.54,科目齐全,可＋急
已经有4人回复
-
植酸TLC薄层色谱爬板
已经有6人回复
2楼2018-06-19 12:43:35
juhongbo
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 14106.5
- 红花: 4
- 帖子: 2671
- 在线: 301.6小时
- 虫号: 1955127
- 注册: 2012-08-25
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2018-06-19 13:03:52
4楼2018-06-19 15:43:43
juhongbo
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 14106.5
- 红花: 4
- 帖子: 2671
- 在线: 301.6小时
- 虫号: 1955127
- 注册: 2012-08-25
- 专业: 金属材料表面科学与工程
5楼2018-06-19 15:59:07
6楼2018-06-19 16:08:09
7楼2018-06-19 16:10:31
448954538
8楼2018-06-19 18:26:10
9楼2018-06-20 12:32:32
sciencetechn
新虫 (小有名气)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 61.9
- 红花: 2
- 帖子: 110
- 在线: 17.3小时
- 虫号: 4044840
- 注册: 2015-08-31
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
10楼2018-07-16 18:04:41