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最近用射频溅射镀二氧化硅膜和铬膜,一直没溅射 已有2人参与
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| 之前用射频溅射铜靶材镀铜膜镀膜效果还可以,最近用改成二氧化硅和铬靶材,一直没溅射是怎么回事呢,靶材是2英寸的,射频功率调的是100W,更换靶材匹配也调了反射功率不大,二氧化硅和铬就是溅射不出来 很郁闷 。。。 麻烦虫友分析下 |
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磁控溅射镀膜工艺 |
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