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最近用射频溅射镀二氧化硅膜和铬膜，一直没溅射 已有2人参与
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| 之前用射频溅射铜靶材镀铜膜镀膜效果还可以，最近用改成二氧化硅和铬靶材，一直没溅射是怎么回事呢，靶材是2英寸的，射频功率调的是100W，更换靶材匹配也调了反射功率不大，二氧化硅和铬就是溅射不出来 很郁闷 。。。 麻烦虫友分析下 |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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2楼2018-06-19 12:43:35
juhongbo
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juhongbo
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