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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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448954538

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 最近用射频溅射镀二氧化硅膜和铬膜，一直没溅射 已有2人参与

之前用射频溅射铜靶材镀铜膜镀膜效果还可以，最近用改成二氧化硅和铬靶材，一直没溅射是怎么回事呢，靶材是2英寸的，射频功率调的是100W，更换靶材匹配也调了反射功率不大，二氧化硅和铬就是溅射不出来   很郁闷  。。。 麻烦虫友分析下
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-19 12:04:53
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野人禾禾

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
所有射频不能启辉的工艺，你都可以从下面三个原因找到。
1. 电源。听你说国产的，基本上就已经是原因了；多关注反射功率，注意人身安全。
2. 腔体。这个还是和电源匹配箱有关，如果腔体阻抗超过匹配箱的调节范围，基本也是启辉困难。
3. 磁场。如果你的磁场不够，也会影响辉光强度。

建议，换进口电源，你也可以提高下气压试试。
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448954538
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
8楼2018-06-19 18:26:10
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448954538

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
查了资料二氧化硅和铬的溅射率比铜确实低，但铬的减少率也有铜的一半左右，不至于一点都溅射不下来吧，有点不知所措了
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2楼2018-06-19 12:43:35
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juhongbo

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
用的啥电源

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3楼2018-06-19 13:03:52
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448954538

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by juhongbo at 2018-06-19 13:03:52
用的啥电源

电源是国产的13.56Mhz  200W的射频电源
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4楼2018-06-19 15:43:43
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