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【求助】RF磁控溅射薄膜退火后开裂
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| 用180W的RF溅射陶瓷靶，大概厚度是1.5um吧，但是经过900度退火之后薄膜开裂的惨不忍睹，请问怎么回事啊？我的基片是石英，溅射过程中没有对基片进行加热。 |
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 薄膜的制备 |
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6楼2009-03-20 09:42:24
leon_chen
金虫 (小有名气)
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quanten
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8楼2009-05-29 23:37:24
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9楼2009-06-30 19:27:20
10楼2009-06-30 21:32:31