应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】RF磁控溅射薄膜退火后开裂
141/2返回列表12下一页
查看: 2670  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

doublewei

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】RF磁控溅射薄膜退火后开裂

用180W的RF溅射陶瓷靶，大概厚度是1.5um吧，但是经过900度退火之后薄膜开裂的惨不忍睹，请问怎么回事啊？我的基片是石英，溅射过程中没有对基片进行加热。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜的制备

» 猜你喜欢
1楼 2009-03-19 09:30:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gdalo

金虫 (小有名气)
你热处理的升降温制度是最关键的地方了，膜厚了，升温快的话应力释放来不及的
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2009-03-20 09:42:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leon_chen

金虫 (小有名气)
1 退火处理时的升降温速度。
2 建议溅射完毕和退火处理完毕后随炉冷却至室温，或者过一夜在开腔取片。
3 基片从石英玻璃更换为硅片试试。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2009-03-22 16:47:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

memser

★ ★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^ 3-19 11:01
doublewei(金币+1,VIP+0):谢谢啊，先给一个，看看之后还有没有人了。 3-19 12:59
产生了应力啊，退火可以降低应力，但是也可能产生应力啊。之前做有这现象吗？之前没有只是这次话，得想想是不是前面预处理等步骤是不是有问题，溅射对基地表面要求很高的。
赞一下(11人) 回复此楼
2楼2009-03-19 10:19:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

doublewei

银虫 (小有名气)
谢谢！我也感觉肯定是应力的问题。之前的也都是这样，只不过薄膜厚度在0.7um以下的时候开裂程度不严重，也可能是看不出来吧。但是在1.5um之后就肉眼就能看出来了。基片的预处理就是传统的浓硫酸+双氧水，再乙醇，再丙酮。在溅射的时候基片加热能不能解决这个问题？
赞一下 回复此楼
3楼2009-03-19 13:03:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

memser

★ ★ ★ ★
doublewei(金币+4,VIP+0):谢谢了！版主有前途！ 3-19 18:53
按照你这么说肯定是应力问题，薄膜应力的变化和工艺中薄膜的厚度有很大关系的。越厚应力集中越明显，厚了不仅应力出问题，表面质量也变差，比方粗糙度等。应力改变需要你做详细的工艺验证，比方溅射功率、温度等等。建议你先测试薄膜应力，压应力？张应力？溅射前后分别测衬底应力，最后可以得出，然后在设计应力调整方案。Good Luck!
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2009-03-19 16:00:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

enquan123

金虫 (著名写手)
有没有可能与升降温速率有关呢？
赞一下 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2009-03-19 19:46:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
建议在高温下溅射，原位退火，其次考虑基片问题，用单晶基片
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2009-05-29 23:37:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你那么厚的膜是一次溅射上去的还是分几次溅射上去的？石英基底和膜之间有过渡层吗？退火时的升温速率快吗？肯定是应力和膜的均匀性问题产生的。溅射时基底加热没？
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2009-06-30 19:27:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

doublewei

银虫 (小有名气)
一次上去的，石英基底和Si基底都试过，并且也试过ZnO作为缓冲层，效果都不好。溅射完之后200度/小时的速度到500度没问题，但是到900度就不行了。现在综合大家和文献的内容，可能只能在溅射的同时原位退火了。但是学校的机器加热又有点问题，愁人啊
赞一下 回复此楼
10楼2009-06-30 21:32:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 doublewei 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-10 01:40 by FChKX8meu1ds
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 4/200 2026-11-10 01:29 by FChKX8meu1ds
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭