【求助】RF磁控溅射薄膜退火后开裂 - 微米和纳米 - 微纳器件 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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cos60

木虫 (著名写手)

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石英的热涨系数太低了，一般的材料热涨系数都比它大，如果有高温降至室温，石英收缩的比薄膜慢，薄膜中会产生张应力的，如果张应力太大，薄膜就开裂了。

你把石英管加热到一千度，马上扔到冷水里，你看它会炸裂吗？不会这就是低热涨系数材料的好处，也是为什么高温管式炉用石英做管及石英舟的原因。

你可以参看这篇文献APPLIED PHYSICS LETTERS 91, 021915 （2007）

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11楼2009-06-30 22:19:06

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郭立强

铁杆木虫 (正式写手)

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你预处理的表面如何呢？如果处理不好，膜本身对基片粘附力就不高。建议试试再做一次实验。另外在500度时，可以得到想要结果，而900度不可以，可能说明这时候温度引起的样品应力确实大于了基片及表面膜之间的粘附力，从而导致你所看到的实验现象

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12楼2009-07-08 21:10:18

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chenfire

木虫 (著名写手)

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嗯，900度的热处理温度很高了，
500度没问题的话，那就是膜层跟基片的热膨胀系数差太大，
应该选择热膨胀系数接近的基片，或者找合适的缓冲层。
楼主没说是什么陶瓷靶，说出来可能有大牛帮忙做更详细的分析。

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非淡泊无以明志，非宁静无以致远

13楼2009-07-09 00:09:46

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doublewei

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ZnGa2O4，制备发光膜用的，文献中一般都是在基片加热的情况下做的

14楼2009-07-09 09:04:50

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