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【求助】RF磁控溅射薄膜退火后开裂
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| 用180W的RF溅射陶瓷靶，大概厚度是1.5um吧，但是经过900度退火之后薄膜开裂的惨不忍睹，请问怎么回事啊？我的基片是石英，溅射过程中没有对基片进行加热。 |
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郭立强
铁杆木虫 (正式写手)
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12楼2009-07-08 21:10:18
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